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    SCCM是质流单位,表示标准毫升每分钟,与一般常用的流量单位是不同的,常见的流量单位例如:1毫升每秒,代表单位时间流过的体积,而质流是表示单位时间通过的气体莫耳数,这种单位通常用于化学反应中,如CVD等需要精确控制原子成分比...

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    sccm是体积流量单位。英文全称为standard-statecubiccentimeterperminute,意思为标况毫升每分。体积流量:气体体积流量系指单位时间输送管道中流过的气体体积。气体体积有工作状态下体积和标准状态下体积之分,它们都是指在某个压力和某个温度情况下的体积,后者是...